扩散泵作为真空系统的主泵已经有几十年的历史，传统的真空镀膜设备扩散泵加热是用耗电里比较高的电阳丝通过烧红来烘烤真空锅炉《扩散泵)底部，从而加热里面的油来使真空泵里面的温度上升来达到设备的工作要求。这种加热方式使得大部分的里散发到空气中，导致热量损失大，使得工作环境温度变高。虽然电炉盘制作成本低廉，但存在着:加热速度慢、容易断丝、加热效能下，能耗量大等诸多缺点。还有导线接入区域温度过高触电,区域极易氧化以及人身触电的的危险。

目前采用电磁加热方式它可以大大改变这种现象。在实际使用中，扩散泵需要在一定的压力范围内，快速稳定高效的运行，对于扩散泵加热，采用电磁加热有着一定的优势

一、高效快捷

电磁加热速度快、热效率高、相比电炉盘加快了1/3设备的启动时间，大大提高了工作效率，也就是省电比电炉盘30%以上。

二、温度控制精度高：采用电磁感应方法加热，可以实现对扩散泵的精确控制和实时调节，大大提高了稳定性和可靠性。

三、安全环保：电磁加热无需燃烧任何燃料，没有废气产生，不会对环境造成污染.

四．当扩散泵底部需要降温的时候，电炉盘由于自身发热再传递给泵底，如果需要降温时电炉盘虽然断电了，但是本身还是有很高的温度，这个时候就需要人工去把电炉盘拉出来放在外部自然冷却；改用电磁加热器就不需要这个环节，因为电磁加热炉盘线圈是产生涡流使扩散泵底部自身加热，电磁加热炉盘本身没有温度，温度到了断电，本身也没有余热。

五．使用寿命

扩散泵电磁加热炉盘采用耐高温铜芯线制作，使用寿命至少5年以上，电炉盘由于长时间处于高温，容易烧断电热丝，一年应该要换几个。

电磁加热实施方案

1.确定加热模式和参数：通过扩散泵温度传感器采集到扩散泵表面和内部的温度信息，然后根据固定的加热模式和参数对实际加热情况进行控制。

2.设计电磁加热器：根据扩散泵的形状和尺寸，设计合理的电磁加热器的大小和形状，并选用适当的电磁感应加热装置。

3.安装和调试：安装电磁加热器、传感器和控制器等设备，并调试扩散泵加热系统，确保其良好的工作状态。

因此，无论是在节能上，还是在安全和使用寿命上，变频电磁加热器均更高一筹。